一种三重旋转涂层装置
基本信息
| 申请号 | CN201921895434.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210736879U | 公开（公告）日 | 2020-06-12 |
| 申请公布号 | CN210736879U | 申请公布日 | 2020-06-12 |
| 分类号 | C23C14/50(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 海玉龙;郭红波;周杰 | 申请（专利权）人 | 苏州赛睿达纳米科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 215000江苏省苏州市工业园区胜浦佳胜路3号、4号厂房四层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种三重旋转涂层装置，解决现有技术中存在载物量小、工作效率低的缺点，包括底座和驱动主轴，所述底座的顶部分别通过螺栓固定连接有第一支撑杆和第二支撑杆，所述第一支撑杆的端部焊接有内圈，所述第二支撑杆的一侧焊接有外圈，通过内圈、第二环形齿条、第一自转齿轮、第二自转齿轮等结构的设置，该涂层装置在设备中增设了一个内圈和用于承载工件的多个夹具，在不改变其他投入成本的情况下，增大了涂层装置的载物量，空间利用率高，结构紧凑，一次性可完成多个数量的涂层处理，大大地提高了设备的工作效率，适合推广使用。 |
