一种毫米波芯片封装结构及其测试结构

基本信息

申请号 CN201922279895.8 申请日 -
公开(公告)号 CN211404488U 公开(公告)日 2020-09-01
申请公布号 CN211404488U 申请公布日 2020-09-01
分类号 H01L23/488(2006.01)I 分类 -
发明人 董昊逸;向渝 申请(专利权)人 南京迈矽科微电子科技有限公司
代理机构 北京德崇智捷知识产权代理有限公司 代理人 南京迈矽科微电子科技有限公司
地址 210000江苏省南京市江宁区秣周东路9号(江宁开发区)
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种毫米波芯片封装结构及测试结构,毫米波芯片封装结构包括裸片以及用于裸片扇出的再分配层;其特征在于:所述再分配层为地‑信号‑地结构,再分配层的信号结构被其周围的地结构包围。所述信号结构包括圆形部和与圆形部连接的延伸部;两个地结构位于所述的延伸部的两侧。本实用新型毫米波封装结构。采用扇出型晶圆级封装的封装形式,通过改进封装上再分配层的结构,实现了封装射频端口良好的损耗和带宽性能。同时为了高效地测试毫米波封装,引入了图形精度较高的陶瓷电路,通过键合引线的方式把封装的射频端口引出到陶瓷电路上,进而通过探针测试封装的性能。