一种大功率射频电源系统
基本信息
| 申请号 | CN202110292832.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113064368A | 公开（公告）日 | 2021-07-02 |
| 申请公布号 | CN113064368A | 申请公布日 | 2021-07-02 |
| 分类号 | G05B19/042;H03F3/189;H03F1/30 | 分类 | 控制；调节; |
| 发明人 | 陈操;陈海明;汪黄根;郑焕生 | 申请（专利权）人 | 科海技术股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京冠和权律师事务所 | 代理人 | 吴金水 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市福田区福田街道福南社区福明路40号雷圳大厦东半层501 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提出了一种大功率射频电源系统。所述大功率射频电源系统包括射频信号发生模块和射频功能模块，所述射频信号发生模块和射频功能模块之间进行电连接。所述射频信号发生模块包括数字控制模块、转换模块、第一V/I检测模块和射频信号处理模块；所述射频功能模块包括功率分配器、滤波式合成器、λ/4变换器模块、隔离电阻模块和第二V/I检测模块。所述大功率射频电源系统还包括控制面板模块、状态显示模块、匹配通讯模块、接口扩展模块、温度检测模块、散热模块和电源模块。 |
