一种声表面波滤波器及其制作方法
基本信息
| 申请号 | CN202010310390.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111614342A | 公开（公告）日 | 2020-09-01 |
| 申请公布号 | CN111614342A | 申请公布日 | 2020-09-01 |
| 分类号 | H03H9/64(2006.01)I;H03H3/08(2006.01)I | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 付琛;张啸云;刘仁 | 申请（专利权）人 | 苏州声芯电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州金项专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 张家港声芯电子科技有限公司 |
| 地址 | 215600江苏省苏州市张家港高新技术产业开发区华夏科技园3号厂房北侧底层张家港声芯电子科技有限公司 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种声表面波滤波器，包括压电基底，压电基底包括厚基底部和薄基底部，压电基底的上表面设置有压电薄膜层，压电薄膜层上设置有至少一对叉指换能器，每一对叉指换能器均包括间隔输入换能器和输出换能器，输入换能器和输出换能器分别位于两侧的厚基底部并与厚基底部对应，薄基底部处于输入换能器和输出换能器之间。该滤波器利用了两种声波模式进行转换，从而扩展了器件的工作带宽。另外本发明还公开了滤波器的制作方法，利用磁控溅射工艺或晶圆键合结合机械抛光的方式在压电基底表面制作压电薄膜层，然后采用平面光刻工艺成型叉指换能器，最后进行深硅刻蚀完成薄基底部的成型。 |
