一种透明石英片的传片装置

基本信息

申请号 CN201921356163.8 申请日 -
公开(公告)号 CN210073786U 公开(公告)日 2020-02-14
申请公布号 CN210073786U 申请公布日 2020-02-14
分类号 H01L21/67;H01L21/677;H01L21/68;H01L21/683 分类 基本电气元件;
发明人 付琛 申请(专利权)人 苏州声芯电子科技有限公司
代理机构 北京汇捷知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 张家港声芯电子科技有限公司
地址 215600 江苏省苏州市张家港高新技术产业开发区华夏科技园3号厂房北侧底层张家港声芯电子科技有限公司
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种透明石英片的传片装置,包括机座,机座上设置有工作平台,工作平台上设置有避让缺口,避让缺口处设置有支撑座,支撑座上竖直滑动安装有由竖直动力装置驱动的升降架,升降架上设置有用于支撑放置片盒的左放置板和右放置板,左放置板和右放置板之间间隔设置形成了检测空间,检测空间处安装了检测片盒中的石英片的检测装置,检测装置包括安装于所述支撑座上的喷嘴安装座,喷嘴安装座上设置有向上喷吹的喷嘴,喷嘴处于检测空间的石英片的下方,喷嘴与供气系统之间通过供气管道连接,该供气管道上设置有压力传感器;机座上还设置有取片机构,该装置可以准确完成传片动作。