一种晶圆对准装置
基本信息
| 申请号 | CN202220630490.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216980525U | 公开（公告）日 | 2022-07-15 |
| 申请公布号 | CN216980525U | 申请公布日 | 2022-07-15 |
| 分类号 | H01L21/68（2006.01）I;H01L21/683（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 张鼎丰;闵源;刘瑶;龚家海 | 申请（专利权）人 | 粤芯半导体技术股份有限公司 |
| 代理机构 | 上海思捷知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 510000广东省广州市黄埔区凤凰五路28号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种晶圆对准装置，用于将带有缺口的晶圆的转动至预设位置，所述晶圆对准装置包括：伯努利吸盘，用于吸附并带动所述晶圆转动；若干圆周分布的垫块，位于所述伯努利吸盘的吸附面上，且所述垫块的顶面具有台阶，所述台阶的台阶面靠近所述伯努利吸盘的中心，所述晶圆放置于所述垫块的台阶面上，所述垫块限制所述晶圆在水平方向上的位移，有效防止当所述伯努利吸盘带动所述晶圆转动及停止转动时，所述晶圆由于惯性及所述伯努利吸盘吸附不牢固而发生的位移，保证晶圆对准的精度，提高产品的良率。 |
