水平调整工具
基本信息
| 申请号 | CN202220622648.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216972680U | 公开（公告）日 | 2022-07-15 |
| 申请公布号 | CN216972680U | 申请公布日 | 2022-07-15 |
| 分类号 | C23C16/52（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 曹紫然 | 申请（专利权）人 | 粤芯半导体技术股份有限公司 |
| 代理机构 | 上海思捷知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 510000广东省广州市黄埔区凤凰五路28号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种水平调整工具，包括位于所述反应腔外的：水平调节架，与所述调节杆固定连接且与所述调节杆呈十字形分布；两个调节组件，分别位于所述调节杆两侧，包括紧固件及弹性刻度件，所述紧固件穿过所述水平调节架并与所述反应腔的外壁连接，所述弹性刻度件包括刻度尺及柔性指示标，所述刻度尺固定于所述柔性指示标上，所述柔性指示标的两端分别连接所述水平调节架及所述反应腔的外壁，通过旋转所述紧固件以改变所述水平调节架与所述反应腔的距离，所述柔性指示标相应伸缩，所述柔性指示标指向所述刻度尺的不同位置。本实用新型利于调整水平调节架的水平度。 |
