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一种生产多孔海绵类金属的设备和工艺

基本信息

申请号 CN01128040.9 申请日 -
公开（公告）号 CN1341773A 公开（公告）日 2002-03-27
申请公布号 CN1341773A 申请公布日 2002-03-27
分类号 C23C14/35;C23C14/14;C22C1/08;C22C1/08;C23C14/14;C23C14/35 分类 冶金；黑色或有色金属合金；合金或有色金属的处理;
发明人 付超;刘敏;王毓民;郑恩涛;魏海波;李爽 申请（专利权）人 爱蓝天高新技术材料（沈阳）有限公司
代理机构 沈阳市科威专利代理有限责任公司 代理人 于菲
地址 110179中国沈阳市浑南新区世纪路8号
法律状态 -

摘要

摘要 一种多孔类海绵金属的生产设备和工艺,它包括壳体及与壳体相连接的真空系统,壳体上开有门,并设有推拉式小车,磁控溅射阴极、卷绕装置及门体安装在小车上,磁控溅射阴极分两列平行安装,每列至少包含有一个靶极,卷绕机构包括由电机拖动的收、放料辊筒和牵引辊,在收、放料辊筒与牵引辊之问安装有过渡辊,并装有线速度传感器,牵引辊的径向表面上设有压力辊。被镀物在磁控溅射区域内所受力除被镀物自身的重力之外,其横断面的拉力近似于零,所以被镀物不会产生变形,完全适合于海绵类物体的镀制要求。可以一次性完成两面的膜层镀制,生产效率高,成本低,适合于工业化生产。由于两排靶极平行安装,且与被镀物平行,所以镀制的膜层均匀。