对聚酯型聚氨酯泡沫基体进行磁控溅射镀膜的设备及方法
基本信息
| 申请号 | CN201110147470.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102212791A | 公开（公告）日 | 2011-10-12 |
| 申请公布号 | CN102212791A | 申请公布日 | 2011-10-12 |
| 分类号 | C23C14/35(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 刘敏;于清;刘伟华;何奋;邵斌;李爽 | 申请（专利权）人 | 爱蓝天高新技术材料（沈阳）有限公司 |
| 代理机构 | 北京市联德律师事务所 | 代理人 | 易咏梅;刘永全 |
| 地址 | 116600 辽宁省大连市保税区IIIB-6 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种用于对聚酯型聚氨酯泡沫基体进行磁控溅射镀膜的设备和方法。其中，所述设备包括放卷辊、溅射靶和收卷辊，在溅射靶和放卷辊之间以及溅射靶和收卷辊之间设置有用于传送泡沫基体的传送装置，所述设备还包括设置在放卷辊和溅射靶之间的用于加热泡沫基体的至少一个热源。该热源用于在溅射前去除泡沫基体上的全部或绝大部分杂质，以提高溅射膜层的质量。这对于随后采用电镀及加热方法制备所需要的泡沫金属如泡沫镍具有重要意义。 |
