平膜硅压阻式压力传感器
基本信息
| 申请号 | CN201220567925.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN202886053U | 公开（公告）日 | 2013-04-17 |
| 申请公布号 | CN202886053U | 申请公布日 | 2013-04-17 |
| 分类号 | G01L9/06(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 高峰 | 申请（专利权）人 | 南京盛业达电子有限公司 |
| 代理机构 | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 曾少丽 |
| 地址 | 211161 江苏省南京市江宁滨江开发区春阳路 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公布了一种平膜硅压阻式压力传感器，包括平膜进压头、销子、扩散硅敏感芯片和底座，还包括隔离膜片，其中隔离膜片与平膜进压头之间设置第一油路，所述销子上设置一条沿着销子圆柱体中心线的凹槽作为第二油路。本实用新型降低了加工难度，减小了硅油的填充量，从而减少了硅油的损耗，进而减少了成本、提高了可靠性、减小了受温度的影响程度，而且传感器量程可以做到很大。 |
