真空镀膜机腔体
基本信息
| 申请号 | CN202022109518.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213416999U | 公开（公告）日 | 2021-06-11 |
| 申请公布号 | CN213416999U | 申请公布日 | 2021-06-11 |
| 分类号 | C23C14/32 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 熊凯;户家周;张朋坤 | 申请（专利权）人 | 上海福宜真空设备有限公司 |
| 代理机构 | 上海裕创慧成知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 黄裕 |
| 地址 | 201821 上海市嘉定区招贤路778号4幢 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种真空镀膜机腔体，包括：腔体，腔体呈多边形立方体；真空镀膜机门，设置在腔体的一个立面上；平面阴极接口，若干个平面阴极接口设置在腔体的立面上；小弧源接口，若干个小弧源接口设置在腔体的立面上；旋转多弧接口，若干个旋转多弧接口设置在真空镀膜机门上；主抽口；若干个主抽口设置在腔体的立面上。本实用新型提供一种多边形的真空镀膜机腔体，改变了圆筒型真空镀膜机功能比较单一的技术问题，提高了真空镀膜机腔体的功能。另外，相对于圆筒型真空镀膜机，其功能件安装面增加可安装多种靶材，真空镀膜机的功能增强，实现可镀复杂膜层的技术功能。 |
