一种大型真空镀膜连续线腔体
基本信息
| 申请号 | CN201920091687.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209669345U | 公开（公告）日 | 2019-11-22 |
| 申请公布号 | CN209669345U | 申请公布日 | 2019-11-22 |
| 分类号 | C23C14/56（2006.01） | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 熊凯; 杨元才; 褚景豫; 王慧峰; 钱鹏亮 | 申请（专利权）人 | 上海福宜真空设备有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 201821 上海市嘉定区招贤路778号4幢 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种大型真空镀膜连续线腔体，包括进样室；中间阀门；第一缓冲室；镀膜室；第二缓冲室；在进样室的一端设置第一阀门；在进样室的另一端与中间阀门的一端进行连接；中间阀门的中间设置密封阀板；在中间阀门的另一端连接第一缓冲室的一端，在第一缓冲室的另一端连接镀膜室的一端；镀膜室的另一端连接第二缓冲室的一端，第二缓冲室设置第二阀门；在本实用新型中的技术效果在于，大型真空镀膜连续线腔体能够被应用于真空镀膜连续生产，满足真空镀膜连续生产对于镀膜腔体的要求。 |
