一种工具镀膜腔体
基本信息
| 申请号 | CN201920091961.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209669338U | 公开（公告）日 | 2019-11-22 |
| 申请公布号 | CN209669338U | 申请公布日 | 2019-11-22 |
| 分类号 | C23C14/32 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 熊凯;杨元才;褚景豫;钱鹏亮;王慧峰 | 申请（专利权）人 | 上海福宜真空设备有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 201821 上海市嘉定区招贤路778号4幢 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种工具镀膜腔体，其特征在于，包括镀膜腔体、底架、视窗接口、小弧源接口、主抽口、门上旋转多弧接口、腔体门；底架上设置镀膜腔体；在镀膜腔体的正面上设置若干个小弧源接口；小弧源接口呈若干排；小弧源接口列与列之间呈品字形排列；在小弧源接口之间设置视窗接口；在镀膜腔体的一侧设置若干个主抽口；在镀膜腔体的反面设置腔体门；在腔体门的下方设置若干个门上旋转多弧接口；在腔体门上同样设置若干个视窗接口；本实用新型的技术效果在于，利用在镀膜腔体上结构上的改变；改变了现有技术中镀膜有效区过窄的技术问题，提升了镀膜的效率，提升了镀膜产品的质量。 |
