多弧离子镀中靶材的安装结构
基本信息
| 申请号 | CN202022100856.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213739647U | 公开（公告）日 | 2021-07-20 |
| 申请公布号 | CN213739647U | 申请公布日 | 2021-07-20 |
| 分类号 | C23C14/32（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 杨元才;王慧峰;户家周 | 申请（专利权）人 | 上海福宜真空设备有限公司 |
| 代理机构 | 上海裕创慧成知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 黄裕 |
| 地址 | 201821上海市嘉定区招贤路778号4幢 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种多弧离子镀中靶材的安装结构，包括：水冷法兰，设置在多弧离子镀中靶材的安装结构的底部；封水板，覆盖在水冷法兰的上方；靶材，设置在封水板的上方；紧固法兰，固定在水冷法兰上方；锁紧结构，设置在紧固法兰与靶材的结合处，同现有技术相比，在需要更换靶材的时候，利用锁紧结构，不再需要进行螺栓拆卸和安装，减少操作时间，提高工作效率。不会造成由于靶材更换频繁，使得密封圈常常失效，导致密封失效，就需要重新拆开、重新安装的技术问题出现，减少拆装水冷法兰、紧固法兰、封水板之间的固定结构，封水板可以做的很薄，减少了封水板的厚度，薄的封水板水冷效果更好，可以有效降低大颗粒的产生。 |
