一种晶圆贴膜装置
基本信息
| 申请号 | CN202021734797.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212648193U | 公开（公告）日 | 2021-03-02 |
| 申请公布号 | CN212648193U | 申请公布日 | 2021-03-02 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 朱袁正;郭靖;朱久桃;李明芬;韩正华;张海城 | 申请（专利权）人 | 无锡电基集成科技有限公司 |
| 代理机构 | 无锡市汇诚永信专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 曹慧萍 |
| 地址 | 214000江苏省无锡市新吴区研发二路以南、研发一路以东 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种晶圆贴膜装置，其可实现晶圆方向自动调整，便于后续加工工序进行，同时可实现自动贴膜，省时省力，可提高生产效率，其包括贴膜台、切膜机构、拉膜机构、压模机构，贴膜台的中部设置有用于放置晶圆的可旋转的转盘，切膜机构包括用于膜切割的切刀，拉膜机构包括新膜滚轮、废膜滚轮、支撑滚轮，膜的两端分别卷绕于新膜滚轮、废膜滚轮，膜的中部在支撑滚轮支撑作用下沿晶圆的顶端传动，压模机构包括压模滚轮，压模滚轮用于将膜贴装于晶圆的背面，其还包括定位装置、转盘驱动装置、控制器，定位装置包括与转盘对应的图像采集装置，图像采集装置、转盘驱动装置与控制器电连接。 |
