一种酚类化合物以及制备方法和应用、光刻胶
基本信息
| 申请号 | CN202110409013.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113105330A | 公开（公告）日 | 2021-07-13 |
| 申请公布号 | CN113105330A | 申请公布日 | 2021-07-13 |
| 分类号 | C07C69/96（2006.01）I;C07C68/06（2020.01）I;C07C43/303（2006.01）I;C07C41/54（2006.01）I;C07C68/00（2020.01）I;G03F7/004（2006.01）I | 分类 | 有机化学〔2〕; |
| 发明人 | 张咪;李冰;刁翠梅;于晓伟;陈昕;王文芳;董栋;张宁 | 申请（专利权）人 | 北京科华微电子材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京超凡宏宇专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 余菲 |
| 地址 | 101312北京市顺义区竺园路4号（天竺综合保税区） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请提供一种酚类化合物以及制备方法和应用、光刻胶，属于光刻技术领域。本申请的酚类化合物能够对光刻胶的分辨率进行改善，同时使得光刻胶具有较好的光刻性能，具体表现为较好的感光度、更大的对比度、侧壁角较垂直的形貌及更大的工艺窗口。光刻胶包括10～30wt％酚醛树脂、2～10wt％重氮萘醌感光剂、0.1～5wt％流平剂、40～80wt％溶剂和0.1～10wt％酚类化合物。 |
