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一种体声波滤波器装置及提升带外抑制的方法

基本信息

申请号 CN202110619580.2 申请日 -
公开（公告）号 CN113411069A 公开（公告）日 2021-09-17
申请公布号 CN113411069A 申请公布日 2021-09-17
分类号 H03H9/56（2006.01）I;H03H9/10（2006.01）I;H03H9/02（2006.01）I 分类 基本电子电路;
发明人 雷强;杨涛;董元旦;马增红;许夏茜;漆丹 申请（专利权）人 成都频岢微电子有限公司
代理机构 成都拓荒者知识产权代理有限公司 代理人 杨争华
地址 611730四川省成都市郫都区德源镇（菁蓉镇）田坝东街6号4楼401室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种体声波滤波器装置及提升带外抑制的方法，其中，体声波滤波器装置包括基板、保护帽晶圆以及滤波器晶圆，所述滤波器晶圆上设置有薄膜体声波滤波器，所述薄膜体声波滤波器的外围形成有金属密封环，金属密封环通过保护帽晶圆的金属化过孔以倒装焊的方式与基板的接地平面连接。进一步的，将滤波器中的并联谐振臂对应连接金属层上的一个电感后与接地金属连接，且相邻两个电感之间均通过接地金属相隔开。本发明提供的体声波滤波器以及提升带外抑制的方法，在不增加滤波器级数以及结构复杂度的情况下，提升了滤波器的带外抑制，且未造成滤波器插损的恶化，同时更有利于滤波器小型化的设计。