一种工件架及镀膜系统
基本信息
| 申请号 | CN202010186547.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111349910B | 公开（公告）日 | 2022-06-17 |
| 申请公布号 | CN111349910B | 申请公布日 | 2022-06-17 |
| 分类号 | C23C16/458（2006.01）I;C23C16/507（2006.01）I;C23C16/509（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 邓必龙;郑利勇 | 申请（专利权）人 | 龙鳞（深圳）新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 518000广东省深圳市坪山区坪山街道六联社区坪山大道2007号创新广场裙楼202 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于镀膜技术领域，具体公开了一种工件架及镀膜系统。工件架包括：框架、前挡板、两个侧板、射频电极板和接地电极板，两个侧板和前挡板合围形成开口背向前挡板的容纳腔，侧板上的通孔与容纳腔连通；各电极板均设置于容纳腔内，且沿框架的高度方向间隔交替连接在框架上。镀膜系统包括反应室，反应室内设置有上述工件架，工件架通过共用电极板可拆卸连接在反应室内。本发明提供的工件架及镀膜系统，电场均匀性提高，不需要通过附加装置便能提高镀膜均匀性和镀膜效率，降低镀膜成本。 |
