一种公转自转平台及真空化学反应腔体
基本信息
| 申请号 | CN202120154158.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214810725U | 公开（公告）日 | 2021-11-23 |
| 申请公布号 | CN214810725U | 申请公布日 | 2021-11-23 |
| 分类号 | B01J19/00（2006.01）I;B01J19/28（2006.01）I | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 邓必龙;张向东 | 申请（专利权）人 | 龙鳞（深圳）新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 | 代理人 | 潘登 |
| 地址 | 518000广东省深圳市坪山区坪山街道六联社区坪山大道2007号创新广场裙楼202 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种公转自转平台及真空化学反应腔体，属于旋转平台技术领域。本实用新型的公转自转平台，将自转驱动组件安装在公转台底部的安装空间内，进而解决了现有技术中齿轮组至少设置两层，体积庞大的问题，具有结构紧凑，承载能力强的优点。在公转台的中心开设第一避让通孔，用于安装射频电极组件，进而在公转台旋转时不干涉射频电极组件，改善了射频电极组件导电连接问题。本实用新型的真空化学反应腔体，通过应用上述公转自转平台，还提高了真空环境利用率。 |
