一种气相沉积镀膜系统
基本信息
| 申请号 | CN202110075451.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112921306A | 公开（公告）日 | 2021-06-08 |
| 申请公布号 | CN112921306A | 申请公布日 | 2021-06-08 |
| 分类号 | C23C16/509;C23C16/458 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 邓必龙;张向东 | 申请（专利权）人 | 龙鳞（深圳）新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 | 代理人 | 潘登 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市坪山区坪山街道六联社区坪山大道2007号创新广场裙楼202 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及气相沉积技术领域，尤其涉及一种气相沉积镀膜系统，其包括第一电极组件，沿竖直方向设置；多个第二电极组件，沿竖直方向设置，且多个所述第二电极组件绕所述第一电极组件的周向间隔设置；治具，设置在所述第一电极组件和所述第二电极组件之间，在所述治具上插设有与所述治具相垂直的托盘，所述托盘上用于盛放待镀膜的工件；公转组件，用于驱动所述治具绕所述第一电极组件的中心转动；自转组件，与所述治具传动连接，用于驱动所述治具绕自身轴线转动。本发明能够保证成膜的均匀性，同时治具上的托盘便于拆装。 |
