一种化学气相沉积防水镀膜装置
基本信息
| 申请号 | CN202111268590.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114000126A | 公开（公告）日 | 2022-02-01 |
| 申请公布号 | CN114000126A | 申请公布日 | 2022-02-01 |
| 分类号 | C23C16/509（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 郑利勇;邓必龙 | 申请（专利权）人 | 龙鳞（深圳）新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 | 代理人 | 潘登 |
| 地址 | 518122广东省深圳市坪山区锦绣东路22号A栋402 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于化学气相沉积技术领域，具体公开了一种化学气相沉积防水镀膜装置，包括腔室、水平位镀膜组件、垂直位镀膜组件、射频馈入装置及电源；水平位镀膜组件和垂直位镀膜组件设置于腔室内，且水平位镀膜组件和垂直位镀膜组件并联后与射频馈入装置连接，电源与射频馈入装置连接。以此结构设置的化学气相沉积防水镀膜装置，能够通过射频馈入装置的切换，方便灵活的实现水平位镀膜组件和垂直位镀膜组件的单独作业或混合组合，继而满足工件进行化学气相沉积时的多种工作需求，且操作方便，省时省力。 |
