石英晶体籽晶片腐蚀控制装置
基本信息
申请号 | CN201820690805.7 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN208293120U | 公开(公告)日 | 2018-12-28 |
申请公布号 | CN208293120U | 申请公布日 | 2018-12-28 |
分类号 | C30B33/10 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 刘盛浦;王晓刚;易际让 | 申请(专利权)人 | 山东博达光电有限公司 |
代理机构 | 杭州中成专利事务所有限公司 | 代理人 | 金祺 |
地址 | 271500 山东省泰安市东平县经济开发区 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型提供一种石英晶体籽晶片腐蚀控制装置,包括腐蚀箱和与电机连接的转轴,腐蚀箱位于转轴正下方,腐蚀箱包括箱体和与箱体配合使用的箱盖,箱盖上设置有通孔,箱体中放置有腐蚀筐,转轴上设置有可伸缩的牵引杆,牵引杆上设置有牵引线,牵引线穿过通孔与腐蚀筐固定连接。本实用新型改变了石英晶体籽晶片表面腐蚀的传统操作,腐蚀溶液与籽晶片的对流,加快了籽晶片腐蚀质量和速度,石英晶体籽晶片表面腐蚀更加均匀,提高了生产效率。 |
