石英晶体籽晶片腐蚀控制装置

基本信息

申请号 CN201820690805.7 申请日 -
公开(公告)号 CN208293120U 公开(公告)日 2018-12-28
申请公布号 CN208293120U 申请公布日 2018-12-28
分类号 C30B33/10 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 刘盛浦;王晓刚;易际让 申请(专利权)人 山东博达光电有限公司
代理机构 杭州中成专利事务所有限公司 代理人 金祺
地址 271500 山东省泰安市东平县经济开发区
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供一种石英晶体籽晶片腐蚀控制装置,包括腐蚀箱和与电机连接的转轴,腐蚀箱位于转轴正下方,腐蚀箱包括箱体和与箱体配合使用的箱盖,箱盖上设置有通孔,箱体中放置有腐蚀筐,转轴上设置有可伸缩的牵引杆,牵引杆上设置有牵引线,牵引线穿过通孔与腐蚀筐固定连接。本实用新型改变了石英晶体籽晶片表面腐蚀的传统操作,腐蚀溶液与籽晶片的对流,加快了籽晶片腐蚀质量和速度,石英晶体籽晶片表面腐蚀更加均匀,提高了生产效率。