人造石英晶体籽晶片的腐蚀装置及腐蚀方法
基本信息
| 申请号 | CN201811207903.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109371456B | 公开（公告）日 | 2021-01-08 |
| 申请公布号 | CN109371456B | 申请公布日 | 2021-01-08 |
| 分类号 | C30B7/10;C30B29/18;C30B33/10 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 刘德辉;易际让 | 申请（专利权）人 | 山东博达光电有限公司 |
| 代理机构 | 杭州中成专利事务所有限公司 | 代理人 | 金祺 |
| 地址 | 271500 山东省泰安市东平县经济开发区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种石英晶体籽晶片腐蚀控制装置：包括籽晶片腐蚀主体机架、腐蚀箱和水浴箱，籽晶片腐蚀主体机架上设置有定时器和带有电机的转轴，定时器与转轴连接，转轴上固定设置有牵引杆；牵引杆上设置有可自由转动的转轮，转轮上固定设置有牵引线，腐蚀箱顶部设置有牵引通孔和通气管孔，腐蚀箱放置在水浴箱中，牵引线依次穿过限位孔和牵引通孔后与提绳固定连接；本发明还提供一种石英晶体籽晶片腐蚀方法，人造石英晶体籽晶片在腐蚀液中往复运动；本发明强调了腐蚀液体的温度控制，有效的控制了腐蚀液的过饱和度，从腐蚀液浓度保障了匀速腐蚀。 |
