一种制作微流道的方法

基本信息

申请号 CN201711499328.2 申请日 -
公开(公告)号 CN109991818A 公开(公告)日 2019-07-09
申请公布号 CN109991818A 申请公布日 2019-07-09
分类号 G03F7/20;G03F1/00 分类 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术〔4〕;
发明人 孙雷 申请(专利权)人 北京德瑞工贸有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 100083 北京市朝阳区双井九龙花园5号楼A座
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种制作微流道芯片的方法。该方法包含:平行紫外光透过掩模板照射到成型基板,其中成型基板浸入光敏树脂中或者覆盖在光敏树脂表面,通过控制紫外光辐照时间和角度,光敏树脂种类,掩模板图案等得到所需的微流控芯片。该方便具有操作简单,传成型快速等特点。