真空样品驱动装置
基本信息
| 申请号 | CN202110069780.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112758696A | 公开（公告）日 | 2021-05-07 |
| 申请公布号 | CN112758696A | 申请公布日 | 2021-05-07 |
| 分类号 | B65G54/02(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 楼厦;倪健;薛聪 | 申请（专利权）人 | 埃特曼半导体技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 薛娇 |
| 地址 | 518000广东省深圳市南山区招商街道文竹园社区荔园路51源华综合楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种真空样品驱动装置，包括设置于真空腔室内并和样品承载台相连接的第一磁性部件；设置于真空腔室外的第二磁性部件；第二磁性部件和第一磁性部件之间通过磁场力相互磁耦合，且第一磁性部件和第二磁性部件之间的真空腔室的腔壁为一体结构；第二磁性部件为对第一磁性部件施加的磁场力可调的磁性件；当第一磁性部件受第二磁性部件的磁场力变化时，第一磁性部件受变化的磁场力驱动带动样品承载台移动，以驱动样品承载台上的样品移动到设定位置。本申请所提供的真空环境中的样品转运的装置，不需要将驱动电机、轴承等驱动设备封装于真空环境中，提高真空腔室的密封性和真空环境的洁净度。 |
