微机械传感装置电特性检测分析系统及方法
基本信息
| 申请号 | CN200910081621.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN101515010A | 公开（公告）日 | 2009-08-26 |
| 申请公布号 | CN101515010A | 申请公布日 | 2009-08-26 |
| 分类号 | G01R31/00(2006.01)I;G01R27/26(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 薛晓军;李荣宽;陈庆;许秋玲 | 申请（专利权）人 | 北京汇众恒电子技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京双收知识产权代理有限公司 | 代理人 | 北京汇众恒电子技术有限公司;嘉兴市纳杰微电子技术有限公司 |
| 地址 | 100083北京市海淀区花园东路8号北18楼1门064号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种微机械传感装置电特性检测分析系统及方法，包括用于检测相应差分电容、上端电容、下端电容、寄生电容和可变电压调整线性度以及温度信息并转换成数字信号输出的前端检测装置，用于发送测试指令给所述前端检测装置，令所述前端检测装置检测，将所述前端检测装置传递来的数字信号进行处理，并将结果存储、显示并发送出去的数据处理装置和用于发送开始指令到所述数据处理装置，令所述数据处理装置指示所述前端检测装置工作，接收所述数据处理装置传递来的检测数据，并进行处理，将最终处理结果进行显示并存储的计算机装置，从而提供一种电路结构简单，成本低，稳定性高，获取数据速度快，检测精度高的微机械传感装置电特性检测分析系统及方法。 |
