半导体轨道装置
基本信息
| 申请号 | CN202122156897.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215496663U | 公开（公告）日 | 2022-01-11 |
| 申请公布号 | CN215496663U | 申请公布日 | 2022-01-11 |
| 分类号 | H01L21/677（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 忻超 | 申请（专利权）人 | 宁波轻蜓视觉科技有限公司 |
| 代理机构 | 无锡市汇诚永信专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 王旭超 |
| 地址 | 315100浙江省宁波市鄞州区学士路655号科信大厦A楼702室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了半导体轨道装置，包括支撑架，皮带输送机构，所述支撑架上设置皮带输送机构、定位板及顶升机构，所述顶升机构包括板体、升降单元，其中升降单元固定在支撑架上且其伸缩端与上方的板体固定，所述支撑架上、板体正上方的位置处固定定位板，皮带输送机构包括皮带及张紧机构，皮带自板体与定位板之间经过，本半导体轨道式运输装置以皮带运输半导体基板，移动至定位板下方时，以升降单元向上移动板体同步使皮带上基板上升至抵接定位板，之后以外设的检测设备检测即可，以调节基板位置的方式替代常规相机高度调节的结构，通用性强。 |
