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一种用于硅片湿法处理的花篮

基本信息

申请号 CN202120660630.7 申请日 -
公开（公告）号 CN214378364U 公开（公告）日 2021-10-08
申请公布号 CN214378364U 申请公布日 2021-10-08
分类号 H01L21/673（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 林鹏飞;王永谦;田得雨;陈刚 申请（专利权）人 天津爱旭太阳能科技有限公司
代理机构 深圳盛德大业知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 张红伟
地址 322000浙江省金华市义乌市苏溪镇好派路655号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型适用硅片加工技术领域，提供了一种用于硅片湿法处理的花篮，包括：相对间隔设置的两个端板；连接两个端板的第一横杆和第二横杆，第一横杆和第二横杆沿第一方向相对间隔设置，第一横杆与第二横杆通过沿第一方向间隔设置的多个连齿连接，相邻两个连齿之间形成用于放置硅片的安装间隙；连接两个端板、用于对放置在安装间隙的硅片进行限位的底杆。本实用新型提供的用于硅片湿法处理的花篮通过将第一横杆和第二横杆利用多个连齿连接，硅片放置在用于硅片湿法处理的花篮进行湿化学处理时，相邻硅片通过连齿物理隔离，既可以防止硅片出现贴片现象，又可以控制硅片的形变量以避免硅片形变过大而导致碎片的发生，可以有效降低硅片的碎片率。