一种半导体尺寸的测量计算方法、装置及计算机存储介质
基本信息
| 申请号 | CN202110744197.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113420260A | 公开（公告）日 | 2021-09-21 |
| 申请公布号 | CN113420260A | 申请公布日 | 2021-09-21 |
| 分类号 | G06F17/12（2006.01）I;G06F17/14（2006.01）I;G06F17/16（2006.01）I;G06F17/17（2006.01）I | 分类 | 计算；推算；计数; |
| 发明人 | 禇汉友;张雪娜;洪峰;李卓;张丽娟;袁方琼;王岚 | 申请（专利权）人 | 深圳市埃芯半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市威世博知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 时乐行 |
| 地址 | 518000广东省深圳市龙华区观澜街道库坑社区库坑观光路1310号喷油车间6栋101 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请公开了一种半导体尺寸的测量计算方法、装置及计算机存储介质，涉及测量技术领域。该测量计算方法包括：获取半导体的特性参数；基于特性参数和严格耦合波分析法，构建耦合波方程组；基于帕德近似法，对耦合波方程组进行求解，以得到半导体的结构尺寸。通过这种方式，能够加快对该耦合波方程的求解，进而提高半导体尺寸的测量计算速度。 |
