一种增强太阳能电池氢钝化能力的富氢PECVD工艺方法
基本信息
| 申请号 | CN201810410325.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108767056B | 公开（公告）日 | 2020-05-15 |
| 申请公布号 | CN108767056B | 申请公布日 | 2020-05-15 |
| 分类号 | H01L31/18;H01L21/02;H01L31/0216 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 刘庆平;邵辉良;邹臻峰;邱江南;陈圆;付少剑 | 申请（专利权）人 | 江西展宇新能源股份有限公司 |
| 代理机构 | 南昌恒桥知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 江西展宇新能源股份有限公司;江西展宇新能科技有限公司 |
| 地址 | 334100 江西省上饶市经济开发区旭日片区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种增强太阳能电池氢钝化能力的富氢PECVD工艺，在通常的PECVD镀膜后，将硅烷、氨气关闭，进一步利用氢气进行等离子体沉积。本发明提供的PECVD工艺形成的减反射膜层中具有高浓度的氢含量，为后续的电注入及光注入钝化工艺提供充分的氢，以达到更好的钝化效果提高太阳能电池的光电转换效率。此工艺在现有工业生产条件下进行改造，简单有效，具有较高的实用价值。 |
