一种适用于黑硅挖孔的槽体
基本信息
| 申请号 | CN201921280257.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211199474U | 公开（公告）日 | 2020-08-07 |
| 申请公布号 | CN211199474U | 申请公布日 | 2020-08-07 |
| 分类号 | C30B33/10 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 徐昆;付少剑;王立富;邵辉良;黄明;李超;孟少东 | 申请（专利权）人 | 江西展宇新能源股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 江西展宇新能源股份有限公司 |
| 地址 | 334100 江西省上饶市经济开发区旭日片区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种适用于黑硅挖孔的槽体，在原有结构基础上副槽增加了精密滤网，药液经滤网过滤后，能够去除废渣及副产物，确保药液的活性；主槽增加高速转子，能加速槽体内药液循环，从而提高药液寿命，快速搅拌使槽内药液更均匀，与硅片充分反应；同时增加温度计数量，可精准确定槽体药液温度，便于监控槽体内温度变化，防止电机空转。 |
