一种新型炉底盘结构
基本信息
申请号 | CN202121226394.4 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN215856464U | 公开(公告)日 | 2022-02-18 |
申请公布号 | CN215856464U | 申请公布日 | 2022-02-18 |
分类号 | C30B35/00(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 杨金海;赵培林 | 申请(专利权)人 | 浙江晶阳机电股份有限公司 |
代理机构 | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 王家蕾 |
地址 | 314413浙江省嘉兴市海宁市丁桥镇镇保路72号2号楼 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种新型炉底盘结构,包括:炉底盘底板,所述炉底盘底板中部设有坩埚轴法兰;炉底盘挡水条,所述炉底盘挡水条连接在炉底盘底板下表面,所述炉底盘挡水条与炉底盘底板下表面之间围合成冷却水路。本实用新型的有益效果为:本新型炉底盘结构采用分层连接的方式设置冷却用的水路,相较传统铣槽的方式,在满足所有功能的前提下,极大降低了材料成本,同时也减少了加工成本。 |
