一种新型炉底盘结构

基本信息

申请号 CN202121226394.4 申请日 -
公开(公告)号 CN215856464U 公开(公告)日 2022-02-18
申请公布号 CN215856464U 申请公布日 2022-02-18
分类号 C30B35/00(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 杨金海;赵培林 申请(专利权)人 浙江晶阳机电股份有限公司
代理机构 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 代理人 王家蕾
地址 314413浙江省嘉兴市海宁市丁桥镇镇保路72号2号楼
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种新型炉底盘结构,包括:炉底盘底板,所述炉底盘底板中部设有坩埚轴法兰;炉底盘挡水条,所述炉底盘挡水条连接在炉底盘底板下表面,所述炉底盘挡水条与炉底盘底板下表面之间围合成冷却水路。本实用新型的有益效果为:本新型炉底盘结构采用分层连接的方式设置冷却用的水路,相较传统铣槽的方式,在满足所有功能的前提下,极大降低了材料成本,同时也减少了加工成本。