一种单晶炉液面自动测量补偿一体系统及方法
基本信息
| 申请号 | CN202210137968.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114540940A | 公开（公告）日 | 2022-05-27 |
| 申请公布号 | CN114540940A | 申请公布日 | 2022-05-27 |
| 分类号 | C30B15/20（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 徐永根;沈凯杰 | 申请（专利权）人 | 浙江晶阳机电股份有限公司 |
| 代理机构 | 嘉兴启帆专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 314413浙江省嘉兴市海宁市丁桥镇联保路22号（自主申报） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种晶体培养装置，更具体地说是一种单晶炉液面自动测量补偿一体系统及方法，包括支撑机构、切换机构、平衡机构、炉筒机构、液面检测机构和补偿机构，切换机构位于支撑机构的上部，切换机构与支撑机构转动连接，平衡机构与切换机构滑动连接，炉筒机构与支撑机构滑动连接，液面检测机构设有两个，液面检测机构固定在炉筒机构的上部两侧，补偿机构与炉筒机构相连接；第一次补液，通过炉筒机构两侧设置的补液阀进行首次充液，浮子浮起，检测初始液面高度；挂晶体；进行第一次补偿；第二次补偿，通过底板与托盘分开，通过补液孔二和补液孔一向托盘上部补液；底板与托盘同步下降，降至最低位置后，再次合并，完成第二次补液操作。 |
