单晶炉坩埚连续加料方法及加料装置

基本信息

申请号 CN202210146095.2 申请日 -
公开(公告)号 CN114574942A 公开(公告)日 2022-06-03
申请公布号 CN114574942A 申请公布日 2022-06-03
分类号 C30B15/00;C30B29/06 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 程旭兵;赵培林 申请(专利权)人 浙江晶阳机电股份有限公司
代理机构 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 代理人 王浩杰
地址 314413 浙江省嘉兴市海宁市丁桥镇联保路22号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了单晶炉坩埚连续加料方法及加料装置,包括机架,包括:料仓,所述料仓设置在机架上部,所述料仓上方设有进料口,所述料仓下方设有加料口,所述加料口处设有锥形阀;运料机构,所述运料机构设置在机架下部,所述运料机构包括送料管、接料斗、振动器、滑轨,所述滑轨与机架连接,所述振动器设置在滑轨上,所述送料管一端与振动器上方连接,所述接料斗设置在送料管连接振动器一端的上方。本发明的有益效果为:本单晶炉坩埚连续加料装置可实现在不打开上炉盖的状态下,对单晶炉进行加料操作,使得在生产过程中的加料时间最大幅度减小,同时保证了单晶炉的生产连续性,从而缩短整个单晶炉的制备周期,提高生产效率。