一种扫描电子显微图像的三维重构方法
基本信息
| 申请号 | CN201510891707.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN105590338B | 公开（公告）日 | 2018-08-10 |
| 申请公布号 | CN105590338B | 申请公布日 | 2018-08-10 |
| 分类号 | G06T17/00 | 分类 | 计算；推算；计数; |
| 发明人 | 张利斌;粟雅娟;韦亚一 | 申请（专利权）人 | 广东中科芯发展科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京汉昊知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 朱海波 |
| 地址 | 510700 广东省广州市黄埔区（广州高新技术产业开发区）开源大道136号自编A栋102室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种扫描电子显微图像的三维重构方法，其中，包括步骤：提供微纳结构；获取微纳结构的扫描电子显微图像；根据所述扫描电子显微图像获取三维结构粗略图；根据所述扫描电子显微图像构建反射电子强度数据库；根据所述反射电子强度数据库对所述三维结构粗略图进行修正，获取三维结构修正图；获取所述微纳结构的边界信息并根据该边界信息对所述三维结构修正图进行修正从而得到三维结构精细图。 |
