一种用于气相沉积装置的气体均匀混合分布器
基本信息
| 申请号 | CN201920903440.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210613652U | 公开（公告）日 | 2020-05-26 |
| 申请公布号 | CN210613652U | 申请公布日 | 2020-05-26 |
| 分类号 | B01J19/00;B01J4/00;B01F5/06 | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 阮诗伦;樊利芳;李朝阳;张留新;王新宇 | 申请（专利权）人 | 郑州大工高新科技有限公司 |
| 代理机构 | 郑州浩德知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 郑州大工高新科技有限公司 |
| 地址 | 450000 河南省郑州市自贸试验区郑州片区(经开)第二大街58号兴华大厦2号楼102号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提出了一种用于气相沉积装置的气体均匀混合分布器，包括：多通管、螺旋状气体混合管、导流装置、气体均匀分布板、反应装置，多通管、螺旋状气体混合管、导流装置、反应装置依次连接，在反应装置后部也连接有一个螺旋状气体混合管，气体均匀分布板设置在反应装置的前部，导流装置位于气体均匀分布板的正前方，导流装置由导流罩和导流块组成，导流块为锥形结构。其有益效果是：区别于传统的通气方式，气体由直管直接进入反应炉，本装置首先使多种气体在螺旋状管道内进行螺旋流动混合；在进入反应室前通过导流装置，改变气流原有流动方向，使混合气体均匀的向四周分散，最后经过气体均匀分布板，进一步使气体更加均匀的进入反应室内。 |
