一种用于气相沉积的耐高温组合支架
基本信息
| 申请号 | CN201920905937.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210237772U | 公开（公告）日 | 2020-04-03 |
| 申请公布号 | CN210237772U | 申请公布日 | 2020-04-03 |
| 分类号 | C23C16/458(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 阮诗伦;张留新;李朝阳;张光辉;樊利芳;王新宇 | 申请（专利权）人 | 郑州大工高新科技有限公司 |
| 代理机构 | 郑州浩德知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 郑州大工高新科技有限公司;大连理工大学重大装备设计与制造郑州研究院 |
| 地址 | 450000河南省郑州市自贸试验区郑州片区(经开)第二大街58号兴华大厦2号楼102号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提出了一种用于气相沉积的耐高温组合支架，包括：底板、支柱、套管、两个挡条组；底板为水平放置的矩形板，底板两侧的横边两端设有台阶形的定位孔，支柱下端为与定位孔形状配适的台阶圆台，套管内直径与支柱外径相适配，档条组包括上档条、放置在底板两侧竖边上的下档条，上档条、下档条上设有多个相对应的等间距的通槽，其两端设有通孔，支柱从下至上依次穿过定位孔、下档条两端的通孔、套管、上档条两端的通孔；本实用新型可适用于气相沉积中薄边类基板表面生成大面积纳米薄膜或涂层，具有很高的效率，容易加工，成本低，适用于工业化大批量生产。 |
