一种金刚线切割多晶硅片的制绒预处理方法及制绒方法

基本信息

申请号 CN201610963805.5 申请日 -
公开(公告)号 CN106400122B 公开(公告)日 2018-12-28
申请公布号 CN106400122B 申请公布日 2018-12-28
分类号 C30B33/10;C30B33/02;C30B29/06 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 刘立新 申请(专利权)人 杭州太能硅业有限公司
代理机构 杭州求是专利事务所有限公司 代理人 杭州太能硅业有限公司
地址 311228 浙江省杭州市萧山区临江高新技术产业园区经六路1287号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种金刚线切割多晶硅片的制绒预处理方法及制绒方法,包括以下步骤:1):将金刚线切割好的多晶硅片进行清洗烘干;2):对清洗烘干后的多晶硅片进行湿氧氧化;3):将步骤2)中处理的多晶硅片清洗烘干;4):将步骤3)中处理过的多晶硅片进行固相晶化;5)将步骤4)所得到的多晶硅片进行制绒,得到制绒的多晶硅片;该方法有效的降低了金刚线切割多晶硅片后多晶硅表面的切割纹,使制绒后的电池转换效率提高。