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用于晶圆翻转的机械手及机器人

基本信息

申请号 CN202010702501.X 申请日 -
公开（公告）号 CN112060112A 公开（公告）日 2020-12-11
申请公布号 CN112060112A 申请公布日 2020-12-11
分类号 B25J15/00(2006.01)I 分类 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手;
发明人 金泰永;曲扬;张琦辉 申请（专利权）人 真芯（北京）半导体有限责任公司
代理机构 北京辰权知识产权代理有限公司 代理人 中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司
地址 100029北京市朝阳区北土城西路3号
法律状态 -

摘要

摘要 本申请属于半导体技术领域，具体涉及一种用于晶圆翻转的机械手及机器人。本申请中的用于晶圆翻转的机械手包括基座、夹紧单元和翻转单元，夹紧单元与基座相连，用于对晶圆进行夹紧，翻转单元与基座相连，用于对基座进行翻转。根据申请中的用于晶圆翻转的机械手，通过移动机械手至晶圆的上方，夹紧单元对晶圆进行夹紧，翻转单元转动基座，基座翻转的同时带动夹紧单元和晶圆共同翻转，从而实现晶圆的抓取和翻转在同一机构上的共同操作，避免了晶圆由机械手转移至翻转机构的过程，从而减少了晶圆翻转过程的时间，提高了晶圆的检测效率。