光刻胶收集杯清理方法及光刻胶收集杯清理设备
基本信息
| 申请号 | CN202010752074.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112090890A | 公开（公告）日 | 2020-12-18 |
| 申请公布号 | CN112090890A | 申请公布日 | 2020-12-18 |
| 分类号 | B08B9/08;G03F7/16 | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 金在植;张成根;林锺吉;贺晓彬;刘金彪;刘强;李亭亭 | 申请（专利权）人 | 真芯（北京）半导体有限责任公司 |
| 代理机构 | 北京辰权知识产权代理有限公司 | 代理人 | 中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司 |
| 地址 | 100029 北京市朝阳区北土城西路3号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种光刻胶收集杯清理方法及光刻胶收集杯清理设备，光刻胶收集杯清理方法包括预清洗步骤：启动位于光刻胶收集杯内侧的旋转片和位于旋转片下方的清洗液喷嘴，控制清洗液喷嘴向旋转片喷洒清洗液，使清洗液被旋转片溅射在光刻胶收集杯的内侧，以对光刻胶收集杯进行预清洗；以及分区域清洗步骤：控制旋转片变速旋转多次，每次旋转的初始转速不同，每次旋转使清洗液被溅射到光刻胶收集杯上的一个区域，清洗液多次溅射覆盖的区域至少包括光刻胶收集杯的待清洗部位。本实施例通过改变初始转速实现了分区域清洗，通过变速旋转实现了对每个区域进行移动清洗，提高了清洗效果，避免了光刻胶收集杯中残余光刻胶造成后续工艺缺陷。 |
