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研磨头气动装置及研磨头

基本信息

申请号 CN202010695430.5 申请日 -
公开（公告）号 CN111805418B 公开（公告）日 2021-09-21
申请公布号 CN111805418B 申请公布日 2021-09-21
分类号 B24B37/34（2012.01）I;B24B37/11（2012.01）I;B24B37/20（2012.01）I;B24B9/06（2006.01）I 分类 磨削；抛光;
发明人 鲁容硕;张月;卢一泓;刘青 申请（专利权）人 真芯（北京）半导体有限责任公司
代理机构 北京兰亭信通知识产权代理有限公司 代理人 陈晓瑜
地址 100029北京市朝阳区北土城西路3号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种研磨头气动装置，包括：底部膜片；第一侧壁，与所述底部膜片上表面连接，沿所述底部膜片边缘呈环形设置；第二侧壁，与所述底部膜片上表面连接；所述第二侧壁在所述第一侧壁内侧并与所述第一侧壁间隔设置；分隔膜，与所述第一侧壁和所述第二侧壁连接，以使所述底部膜片、第一侧壁、第二侧壁和所述分隔膜之间形成密闭腔体；顶板，与所述第一侧壁和第二侧壁的顶部连接；所述顶板上设置有用于气体通过的通道，以使所述第一侧壁、第二侧壁、分隔膜和顶板之间形成可充气腔体。本发明能够避免相邻可充气腔体对边缘可充气腔体的干扰，提高对晶圆压力的控制能力。