首页/ 真芯（北京）半导体有限责任公司/ 专利详情

除尘管道及扩散设备

基本信息

申请号 CN202010691355.5 申请日 -
公开（公告）号 CN112077084A 公开（公告）日 2020-12-15
申请公布号 CN112077084A 申请公布日 2020-12-15
分类号 B08B9/032;H01L21/67 分类 清洁;
发明人 安重镒;李相遇;金成基;熊文娟;蒋浩杰;李亭亭;丁云凌 申请（专利权）人 真芯（北京）半导体有限责任公司
代理机构 北京辰权知识产权代理有限公司 代理人 中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明属于除尘设备技术领域，具体涉及一种除尘管道及具有该除尘管道的扩散设备。本实施方式中的除尘管道包括管体和至少一个吹气单元，管体的内部设有用于排气气流流动的管腔，吹气单元用于与气源相连通，吹气单元上的至少部分结构设于管腔内，吹气单元设于管腔内的至少部分结构上设有至少一个吹气孔。根据本申请中的除尘管道，将吹气单元与气源相连通，通过吹气孔向管体的管腔内通入除尘气流，除尘气流冲击附着在管体的内壁上的灰尘杂质并使灰尘杂质脱落，最终将管腔内的灰尘杂质随排气气流一同排出管腔，保证管腔的内部的排气气流的通畅，减少或避免管腔内部堵塞现象的发生，提高设备运行的可靠性。