一种柔性器件的制备方法及应用
基本信息
申请号 | CN201811094783.9 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN109216589B | 公开(公告)日 | 2021-07-09 |
申请公布号 | CN109216589B | 申请公布日 | 2021-07-09 |
分类号 | H01L51/56;H01L51/54 | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 夏建文;刘强;黄明起;陈元甫 | 申请(专利权)人 | 深圳市化讯半导体材料有限公司 |
代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 | 代理人 | 巩克栋 |
地址 | 518101 广东省深圳市南山区西丽官龙第二工业区大学城希创产业园5楼508 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提供了一种柔性器件的制备方法及应用,所述制备方法包括如下步骤:(1)在透明基板上设置牺牲层,在牺牲层上设置柔性器件;(2)从透明基板侧经激光剥离实现牺牲层与柔性器件的分离,得到所述柔性器件;其中,所述牺牲层的制备原料包括基体树脂和感光助剂。本发明采用基体树脂和感光助剂作为牺牲层的制备原料,感光助剂具有感光基团,感光基团可以吸收光照能量使基体树脂的结构遭到破坏,进而使牺牲层失去粘结性,最终使柔性器件与牺牲层在室温下无应力分离,从而可以避免柔性器件在剥离过程中产生的轻微变形等不利影响。 |
