一种晶圆的解键合方法

基本信息

申请号 CN202110145304.7 申请日 -
公开(公告)号 CN112967993A 公开(公告)日 2021-06-15
申请公布号 CN112967993A 申请公布日 2021-06-15
分类号 H01L21/683(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 夏建文;黄明起;叶振文;刘彬灿;易玉玺 申请(专利权)人 深圳市化讯半导体材料有限公司
代理机构 北京品源专利代理有限公司 代理人 潘登
地址 518000广东省深圳市宝安区福永街道白石厦社区东区龙王庙工业区6栋101
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种晶圆的解键合方法,所述晶圆的解键合方法包括如下步骤:(1)将键合的晶圆输入清洗腔;(2)使用清洗腔中的喷嘴头对准所述键合的晶圆的边缘,喷出溶剂;(3)去除所述键合的晶圆的边缘溢胶;(4)对步骤(3)得到的键合的晶圆进行干燥;(5)将干燥后的键合的晶圆输入激光扫射平台进行解键合;步骤(2)中所述喷嘴头的压力为0.1‑10MPa。本发明所述晶圆的解键合方法中通过调整清洗腔中的喷嘴头的压力,使其对准边缘溢胶喷出适量的溶剂溶解边缘溢胶并去除,整个工艺过程简单,耗时短,利于提高晶圆的生产效率。