一种传感器及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201910192142.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109655181B | 公开（公告）日 | 2019-06-25 |
| 申请公布号 | CN109655181B | 申请公布日 | 2019-06-25 |
| 分类号 | G01L1/22（2006.01）I; G01L9/04（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 张威; 周浩楠 | 申请（专利权）人 | 北京智芯传感科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京知元同创知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 北京协同创新研究院; 北京智芯传感科技有限公司 |
| 地址 | 100094 北京市海淀区苏家坨镇翠湖南环路13号院1号楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明实施例涉及一种传感器及其制备方法，所述传感器包括MEMS力传感器芯片、压力传导部件、传感器芯片容置体和弹性片；所述传感器芯片容置体用于容纳所述MEMS力传感器芯片，具有开口端；所述弹性片中部具有圆孔，弹性片固定连接在传感器芯片容置体的开口端；所述压力传导部件用于将外部压力传递至压力敏感梁，一端设置于所述定位孔或定位槽上，另一端与弹性片中部的圆孔相接。该传感器能够直接检测外部压力，无需媒介，扩大了应用场景，检测灵敏，准确，封装工艺简单。 |
