一种传感器及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201910192144.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110031136A | 公开（公告）日 | 2019-07-19 |
| 申请公布号 | CN110031136A | 申请公布日 | 2019-07-19 |
| 分类号 | G01L1/22;B81C1/00;B81B3/00 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 张威;周浩楠 | 申请（专利权）人 | 北京智芯传感科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京知元同创知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 北京协同创新研究院;北京智芯传感科技有限公司 |
| 地址 | 100094 北京市海淀区苏家坨镇翠湖南环路13号院1号楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明实施例涉及一种力传感器及其制备方法，所述力传感器包括MEMS力传感器芯片，所述芯片包括基底，基底的上表面具有凹槽，基底的上表面上设置有压力敏感层；所述压力敏感层包括边框和压力敏感梁；所述边框部分地或完全地围绕凹槽设置，所述压力敏感梁设置于所述凹槽的上方，压力敏感梁的各端部分别与压力敏感层的边框相连；所述压力敏感层的上表面上设置有多个压敏电阻，每个压敏电阻的至少一部分位于所述压力敏感梁上，所述多个压敏电阻连接构成惠斯通电桥。该传感器能够直接检测外部压力，无需媒介，扩大了应用场景。 |
