首页/ 镇江芯纳微电子有限公司/ 专利详情

光调制器像素单元及其制作方法

基本信息

申请号 CN201010230027.1 申请日 -
公开（公告）号 CN102338931B 公开（公告）日 2014-03-12
申请公布号 CN102338931B 申请公布日 2014-03-12
分类号 G02B26/00(2006.01)I 分类 光学;
发明人 毛剑宏;唐德明;韩凤芹 申请（专利权）人 镇江芯纳微电子有限公司
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 骆苏华
地址 201203 上海市浦东新区张江高科技园区龙东大道3000号5号楼501B室
法律状态 -

摘要

摘要 发明提供了一种光调制器像素单元，包括底部电极、可动电极、顶部电极，在控制电路控制下，所述可动电极的位置会发生偏移，分别位于第一位置、第二位置和第三位置，当可动电极位于第一位置时，入射至光调制器像素单元的第一光线的经由顶部电极反射的光线与透过顶部电极的由可动电极反射的并再透过顶部电极的光线发生相消干涉；可动电极位于第二位置和第三位置分别对第二光线和第三光线进行调制原理与可动电极位于第一位置对第一光线的调制原理相同。所述第一光线、第二光线、第三光线分别为三种特定波长范围的单色光。本发明的光调制器像素单元能够分时控制三种特定波长的单色光，实现色彩控制和灰度控制，适用于投影显示以及平板系统。