陀螺仪及其制造方法
基本信息
| 申请号 | CN201010200715.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102278981B | 公开（公告）日 | 2014-01-08 |
| 申请公布号 | CN102278981B | 申请公布日 | 2014-01-08 |
| 分类号 | G01C19/567(2012.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 毛剑宏;韩凤芹;唐德明 | 申请（专利权）人 | 镇江芯纳微电子有限公司 |
| 代理机构 | 张家港市高松专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 张家港丽恒光微电子科技有限公司;上海丽恒光微电子科技有限公司 |
| 地址 | 215613 江苏省苏州市张家港市凤凰镇双龙村 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种陀螺仪及其制造方法，该陀螺仪包括：衬底，衬底内具有底层驱动电极和位于底层驱动电极外围的底层测量电极；位于衬底上的介质层，在介质层中具有封闭的空腔；所述空腔内包括：位于衬底上的中心轴；置于衬底上且能围绕中心轴旋转的支撑环；位于支撑环外围且与支撑环共中心轴的质量环；连接支撑环和质量环且支撑所述质量环悬置于所述空腔内的悬臂；位于支撑环、质量环和相邻两悬壁之间区域内的弹性部件；覆盖支撑环、质量环、悬臂和弹性部件的顶层驱动电极；连接弹性部件上顶层驱动电极与底层驱动电极的导电插塞；所述质量环包括绝缘层及位于绝缘层下的重量层。该陀螺仪的稳定性和性能得到较大提高。 |
