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柔性显示器基板的封装装置和方法

基本信息

申请号 CN201580039352.0 申请日 -
公开（公告）号 CN106537635B 公开（公告）日 2018-08-21
申请公布号 CN106537635B 申请公布日 2018-08-21
分类号 H01L51/56;H01L27/32 分类 基本电气元件;
发明人 李胜光;曹昌铉;金英俊 申请（专利权）人 中船重工齐腾科技（武汉）有限公司
代理机构 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 代理人 徐立
地址 430070 湖北省武汉市洪山区珞喻路312号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种柔性显示器基板的封装装置和方法。柔性显示器基板的封装装置包括：放置柔性基板的夹具、在柔性基板的表面喷射无机物的第一喷射部、在柔性基板的表面喷射有机物的第二喷射部、离子束产生装置和差分真空腔，该离子束产生装置将通过使离子加速产生的离子束发射到喷射有无机物和有机物的柔性基板的表面，该差分真空腔可将离子束产生装置和形成有第一喷射部、第二喷射部和夹具的空间设置成具有不同的真空度。该离子束产生装置可产生离子束能量在第一阈值和第二阈值之间的离子束，使得被加速的离子束注入到喷射有无机物和有机物的柔性基板的表面。