一种半导体晶圆清洗装置
基本信息
| 申请号 | CN201910174602.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109887866B | 公开（公告）日 | 2020-01-07 |
| 申请公布号 | CN109887866B | 申请公布日 | 2020-01-07 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01） | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 陈鑫城 | 申请（专利权）人 | 航天智讯新能源（山东）有限公司 |
| 代理机构 | 重庆中流知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 重庆市洲金电子科技有限公司;航天智讯新能源（山东）有限公司 |
| 地址 | 409130 重庆市石柱土家族自治县南宾镇城南居委白岩组（工业孵化楼605-15） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种半导体晶圆清洗装置，其结构包括清洗装置本体、折叠晶圆收纳筐和摆臂升降架，该清洗装置本体底端的清洗箱内部第二电机运转带动左端摇杆旋转，摇杆前端底部与第一连杆内侧直槽口滑动连接，摇杆周转带动第一连杆摆动，第一连杆带动左端第二连杆摆动，第二连杆带动第二滑块在第二安装架内的滑槽上下移动，由于第二滑块左端与连接块固定连接，同时连接块左端通过滑块与安装架滑动连接，第二滑块上下滑动过程通过连接块带动顶端的外框和网面上下移动，网面上下移动过程中带动顶端的收纳筐本体上下移动，收纳筐本体将在清洗箱内部上下移动进一步清洗，内侧的晶圆片与清洗箱内部超纯水接触，晶圆片活动移动将提升清洗效率。 |
